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中国、エッチング装置の国産化加速　輸入18%減とSemiAnalysis

調査会社は、年初来で前工程のエッチング装置輸入が減少する一方、成膜装置の輸入は増加したとし、NauraがCXMTのICPエッチング市場でシェアを伸ばしていると述べた。

要約

信頼性検証中

用語解説

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