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ASML・TSMC・imec、2次元材料トランジスタで動作歩留まり94％を実証

検証中
  • ASML、TSMC、imecは、標準的な製造ウエハー上で2次元材料の相補型トランジスタを実証した。
  • デバイスはコンタクト・ポリピッチ50ナノメートルと動作歩留まり94％を達成した。
  • 成果は2026年6月、IEEE/JSAP VLSIシンポジウムで発表された。
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