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ASML、台积电和imec展示晶圆良率达94%的二维晶体管

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  • ASML、台积电和imec在标准制造晶圆上展示了二维材料互补型晶体管。
  • 这些器件实现了50纳米的接触多晶栅极间距和94%的工作良率。
  • 相关结果于2026年6月在IEEE/JSAP超大规模集成电路研讨会上公布。
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