ASML已获得多家领先半导体制造商的大额订单承诺，其中包括SK海力士在2026年3月订购的约80亿美元EUV光刻设备（用于芯片图形化的极紫外光刻设备）。这是ASML历史上披露的最大单笔量产设备采购订单，涵盖截至2027年的高带宽内存和先进DRAM生产。ASML是全球唯一一家生产EUV设备的公司，而这类设备是制造先进芯片的核心。其High-NA EUV系统可提供更高的分辨率；英特尔已开始将其用于特定先进制程节点，SK海力士和三星也在部署这类系统，而台积电正在推迟更广泛的采用。比利时微电子研究中心（Imec）于2026年3月以4亿美元购入一台High-NA EUV系统，全球此类设备不足12台。截至2026年7月，ASML将2026财年营收指引上调至430亿至450亿欧元；截至2025年年底，其订单积压为388亿欧元。该公司计划在2027年和2028年分别将EUV和深紫外光刻设备的年产能提高30%，以满足其光学、精密机械和特种材料供应链各环节的需求。