Axcelis将在ICSCRM 2026上展示离子注入研究

  • Axcelis将在日本举行的ICSCRM 2026上参展并展示研究成果。
  • 碳化硅市场预计到2031年将达到110亿美元,年增长率为20%。
  • Axcelis开发半导体工艺解决方案已有近50年。

Axcelis Technologies将于2026年9月28日至10月2日在日本Pacifico Yokohama North参加第23届国际碳化硅及相关材料会议(ICSCRM 2026)。公司将设立F3号展位,并展示碳化硅制造领域的研究成果,包括衬底注入、接触工程、超结柱和高能注入。Axcelis总裁兼首席执行官Russell Low博士表示,公司将展示其Purion Power Series+™平台,该平台是一套用于功率器件制造的离子注入系统。离子注入(利用带电粒子改变半导体材料)是关键制造环节;而碳化硅(一种用于电力电子产品的Compound半导体)据Yole Group估计,到2031年将成为规模达110亿美元的市场,2025年至2031年的复合年增长率为20%。总部位于马萨诸塞州贝弗利的Axcelis为半导体行业提供解决方案已有近50年。

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